超精密Micor系列顯微線掃相機
產品尺寸:199.1H * 135D * 205Wmm
有效寬度:6,14,28mm
清 晰 度:9600/19200/38400dpi
像素大小:0.66um/1.32um/2.65um
線掃速率:3.57kHz
焦距范圍:±0.1mm
工作距離:52.4/70.2mm
數據接口:USB3.0
主要應用:晶圓表面, 太陽能電池板,硅晶片等